丙烯酸酯光致抗蚀干膜制备

• 作者: 杨鉴惠 毛建国
• 来源期刊: 信息记录材料
• 学科: 工学
• 关键词: 光致抗蚀剂 (甲基)丙烯酸酯 光敏引发剂 光敏聚合物 UV光固化
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 14-16
• 页数: 3页
• 分类号: TB345
• 字数: 2048字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-5624.2000.03.004

摘要

研究了(甲基)丙烯酸酯各组份对成膜树脂及抗蚀干膜性能的影响,并就曝光时间、光敏引发剂品种、活性单体对干膜性能的影响也进行了讨论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	毛建国		1	2	1.0	1.0
2	杨鉴惠		1	2	1.0	1.0