遗传算法应用于多弧离子镀膜工艺优化设计

• 作者: 刘渤 左演声
• 来源期刊: 电子工艺技术
• 学科: 工学
• 关键词: 遗传算法 多弧离子镀 工艺优化 神经网络
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 所属期刊栏目: 新工艺新技术
• 页码范围: 115-117
• 页数: 3页
• 分类号: TF13
• 字数: 2134字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3474.2000.03.008

摘要

将遗传算法应用于离子镀膜,建立多弧离子镀(TiAl)N膜工艺优化遗传算法模块并讨论相关问题.采用人工神经网络技术实现镀膜工艺参数到膜层性能指标的映射并以之作为遗传算法的目标函数.实验验证表明遗传算法用于镀膜工艺优化设计的可行性与可靠性.本工作为解决离子镀以至表面工程技术领域工艺寻优等问题作了有益的尝试.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	左演声		5	30	4.0	5.0
2	刘渤		2	11	2.0	2.0