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多晶硅生产中回收氢气的净化
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摘要：
本文介绍了回收氢气净化的基本原理、工艺流程,及用回收氢气生产多晶硅的实践结果,分析了半导体多晶硅生产中,利用活性炭净化从还原炉尾气中回收的氢气.
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研究主题发展历程
节点文献
多晶硅
活性碳
氢气
净化
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
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中国有色冶金
主办单位：
中国有色工程有限公司
出版周期：
双月刊
ISSN：
1672-6103
CN：
11-5066/TF
开本：
16开
出版地：
北京市复兴路12号
邮发代号：
创刊时间：
1972
语种：
chi
出版文献量（篇）
2904
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