遗传算法在椭圆偏振测量中的应用

• 作者: 彭子龙 李佐宜 杨晓非 胡煜 谭立国
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 椭偏仪测量 遗传算法
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 所属期刊栏目: 测量
• 页码范围: 277-280
• 页数: 4页
• 分类号: O484.5
• 字数: 3182字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-1582.2000.03.012

摘要

详细介绍了椭圆偏振法测量的基本原理和椭偏函数方程的建立,将遗传算法引入到椭偏法测试薄膜的折射率和厚度的计算中,改善了计算的收敛性并提高收敛速度.给出了计算程序流程图,重点分析了各遗传算子的设计.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡煜	华中理工大学电子科学与技术系	3	17	2.0	3.0
2	李佐宜	华中理工大学电子科学与技术系	16	50	4.0	6.0
3	谭立国	华中理工大学电子科学与技术系	5	25	3.0	5.0
4	彭子龙	华中理工大学电子科学与技术系	1	15	1.0	1.0
5	杨晓非	华中理工大学电子科学与技术系	6	25	3.0	5.0