一种喷涂SnO2减反射薄膜的新工艺及材料研究

• 作者: 周之斌 孙铁囤 崔容强 徐林 徐秀琴
• 来源期刊: 太阳能学报
• 学科: 工学
• 关键词: 超声雾化喷涂 SnO2薄膜 减反射涂层
• 年，卷（期）: 2000,（1）
• 页码范围: 106-109
• 页数: 4页
• 分类号: TK51
• 字数: 1409字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-0096.2000.01.019

摘要

采用超声雾化喷涂法沉积得到SnO2薄膜和掺氟离子SnO2薄膜.通过改变掺杂量和选择合适的工艺条件可控制掺氟SnO2薄膜的方块电阻,其最小方块电阻值达10Ω/□.用550nm单色光测得其透过率为85%-90%.用X射线衍射仪及扫描电子显微镜分析SnO2薄膜的微结构和成份,薄膜为择优取向晶化.薄膜具有很好的抗腐蚀性能.在已完成pn结及电极制作工序的单晶硅太阳电池上沉积一层厚70nm的未掺杂SnO2薄膜,构成光学减反射层,其电池的短路电流Isc提高约5%-10%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	崔容强	上海交通大学太阳能研究所	38	544	14.0	22.0
2	周之斌	上海交通大学太阳能研究所	11	83	5.0	9.0
3	徐秀琴	上海交通大学太阳能研究所	7	142	5.0	7.0
4	孙铁囤	上海交通大学太阳能研究所	11	95	5.0	9.0
5	徐林	上海交通大学太阳能研究所	25	235	10.0	14.0