He-Ne激光器功率调谐位移传感激光器

• 作者: 傅杰 张书练 李岩 金国藩 韩艳梅
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 频率分裂 位移测量与传感 He-Ne激光 纵模间隔
• 年，卷（期）: 2000,（6）
• 所属期刊栏目: 测量和防护
• 页码范围: 337-341
• 页数: 4页
• 分类号: TN2
• 字数: 2540字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2000.06.008

摘要

阐述了一种新型的He-Ne激光位移传感器,具有自校准功能以及没有原理上的误差.利用频率分裂技术,将一个纵模间隔分为4个宽度相等的区间,在这4个区间内激光器具有不同的光功率输出.当一个频率移动过这样的一个区间,相当于激光器的一个腔镜移动了λ/8.可移动的反射镜与被测工件相连.这样,一支He-Ne激光器变成了一个不用干涉现象的位移传感器,其测量范围可达10mm,测量精度可达0.079μm,并具有判向的功能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李岩	清华大学精密仪器系精密测试技术与仪器国家重点实验室	75	955	17.0	28.0
2	金国藩	清华大学精密仪器系精密测试技术与仪器国家重点实验室	134	1085	20.0	25.0
3	张书练	清华大学精密仪器系精密测试技术与仪器国家重点实验室	85	832	17.0	24.0
4	韩艳梅	清华大学精密仪器系精密测试技术与仪器国家重点实验室	3	14	2.0	3.0
5	傅杰	清华大学精密仪器系精密测试技术与仪器国家重点实验室	3	43	2.0	3.0