直接敷铜Al2O3陶瓷基板的界面产物研究

• 作者: 周和平 方志远 陈虎
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 工学
• 关键词: 直接敷铜法 预氧化 界面产物
• 年，卷（期）: 2000,（5）
• 所属期刊栏目: 简报
• 页码范围: 935-942
• 页数: 4页
• 分类号: TQ174
• 字数: 2215字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-324X.2000.05.029

摘要

直接敷铜Al2O3基板已被广泛应用于大功率场合. 本文通过Cu箔表面预氧化生成Cu2O的方法引入氧, 1070C在Cu箔和Al2O3基板界面上所产生的Cu-Cu2O共晶液体促进了二者的牢固结合. 流动氮气氛下保温1h, 观察到了明显的界面产物层. SEM和XRD的分析表明, 界面产物相为CuAlO2.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈虎	清华大学材料科学与工程系新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室	26	1188	9.0	26.0
2	周和平	清华大学材料科学与工程系新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室	86	951	16.0	27.0
3	方志远	清华大学材料科学与工程系新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室	1	9	1.0	1.0