用规整膜板对砷化镓的三维微结构图形加工刻蚀

• 作者: 卢泽生 叶雄英 周兆英 孙建军 田中群 田昭武 罗瑾 董申 蒋利民 黄海苟
• 来源期刊: 电化学
• 学科: 化学
• 关键词: 约束刻蚀剂层技术 GaAs 捕捉剂 微加工
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 所属期刊栏目: 研究快讯
• 页码范围: 253-257
• 页数: 5页
• 分类号: O646
• 字数: 2467字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-3471.2000.03.001

摘要

以微齿轮图形结构作为规整模板,用约束刻蚀剂层技术对GaAs样品表面进行了加工刻蚀.在有捕捉剂H3AsO3存在的情况下,规则微齿轮图形能够很好地在样品表面复制.刻蚀结果与没有捕捉剂存在时的刻蚀结果做了比较.另外还测试了不同方法制得膜板的性能,初步探讨了电化学模板的制作工艺.