模拟退火法在椭偏光谱数值反演中的应用

• 作者: 余招贤 张曰理 李辉遒 莫党 阳生红
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: 模拟退火法 椭偏光谱 数值反演 应用实例
• 年，卷（期）: 2000,（5）
• 页码范围: 338-342
• 页数: 5页
• 分类号: TN2
• 字数: 4028字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.2000.05.004

摘要

将模拟退火(SA)法应用于椭偏光谱数值反演,以达到同时得到介质薄膜的厚度和光学常数谱,并对SA算法作了说明和改进.作为应用实例,计算了Si衬底上的SiO2薄膜和Ba0.9Sr0.1TiO3(BST)铁电薄膜的膜厚及光学常数谱,同时讨论了椭偏参数ψ和Δ随膜厚及折射率变化的灵敏度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李辉遒	中山大学物理系	7	72	4.0	7.0
2	张曰理	中山大学物理系	27	80	4.0	8.0
3	莫党	中山大学物理系	18	141	6.0	11.0
4	阳生红	中山大学物理系	19	101	5.0	9.0
5	余招贤	中山大学物理系	6	27	1.0	5.0