微波等离子CVD金刚石设备中基片加热材料的三维温度场型研究

• 作者: 傅文斌 周健 王念 艾阳斌 袁润章
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 三维模型 温度场 基片加热
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 页码范围: 290-295
• 页数: 7页
• 分类号: O781
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2000.03.016

摘要

在微波等离子CVD设备中,微波电磁场的不均匀分布将导致等离子球和基片的温度不均匀,从而降低CVD金刚石的质量,因而基片加热是需要的.材料的吸收微波能的能力同微波频率、电场强度、材料的介电常数和介电损耗及材料体积相关,材料的介电常数、介电损耗、导热率又同温度相关.基于热力学理论,本文用强吸收微波能的SiC材料作为了基片加热材料,放在微波等离子腔的基片下,研究三维轴对称温度场模型,该模型的基片加热材料的介电常数、介电损耗和体积随温度变化,获得了温度分布的解析式,计算结果显示该模型能得到直径76.2mm的均匀温度分布,温度变化少于10℃,因而可用于基片加热.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	傅文斌	空军雷达学院微波工程实验室	42	167	7.0	10.0
2	袁润章	武汉工业大学材料复合新技术国家重点实验室	47	820	18.0	27.0
3	周健	武汉工业大学材料复合新技术国家重点实验室	13	133	7.0	11.0
4	王念	武汉工业大学材料复合新技术国家重点实验室	1	6	1.0	1.0
5	艾阳斌	空军雷达学院微波工程实验室	1	6	1.0	1.0