φ2mm微马达驱动旋转式微泵

• 作者: 张卫平 杨春生 章吉良 蔡炳初 赵小林
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 电磁型微马达 Ti合金叶轮 旋转式微泵
• 年，卷（期）: 2000,（1）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 55-60
• 页数: 6页
• 分类号: TP271+.2
• 字数: 3183字
• 语种: 中文

摘要

在生物医学、化学液体的流量检测与分析及固态元器件冷却等领域中,均需要流量的精细控制和检测系统.在这类流量精细控制和检测系统中,微小型泵是一个基本元件.作者利用上海交通大学研制成功的、由微细加工工艺制备的、直径为2mm的电磁型微马达作驱动源,并配以电火花加工工艺制备的蜗壳和Ti合金叶轮制成旋转式微泵.微泵的外形尺寸为φ4.5×6.5mm,最大流量可达12ml/min,流量可根据马达转速进行调节.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张卫平	上海交通大学信息存储研究中心薄膜与微细技术教育部开放实验室	57	414	10.0	19.0
2	蔡炳初	上海交通大学信息存储研究中心薄膜与微细技术教育部开放实验室	49	769	15.0	26.0
3	杨春生	上海交通大学信息存储研究中心薄膜与微细技术教育部开放实验室	33	314	10.0	16.0
4	赵小林	上海交通大学信息存储研究中心薄膜与微细技术教育部开放实验室	56	549	13.0	20.0
5	章吉良	上海交通大学信息存储研究中心薄膜与微细技术教育部开放实验室	3	29	2.0	3.0