相干滤波成像系统测量光学元件表面疵病

• 作者: 沈卫星
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 表面疵病 相干成像系统 等效疵病面积 疵病等级
• 年，卷（期）: 2000,（4）
• 所属期刊栏目: 测量
• 页码范围: 361-362,365
• 页数: 3页
• 分类号: TG84
• 字数: 2341字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-1582.2000.04.008

摘要

本文利用相干高通滤波成像系统对光学元件表面疵病进行了测量,提出了等效疵病面积的概念及计算公式,由等效疵病面积可计算出与GB1185-89对应的疵病等级J.实验装置的分辨率为10μm,并具有可靠的表面疵病等级评价.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈卫星	中国科学院上海光学精密机械研究所	10	94	5.0	9.0