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原文服务方: 现代仪器与医疗       
摘要:
本文介绍了真空下各种镀膜技术的基本概念,讨论了各种镀膜装置的镀膜方式、特点和应用及真空镀膜技术的发展现状及趋势.
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文献信息
篇名 真空镀膜技术的现状及发展
来源期刊 现代仪器与医疗 学科
关键词 真空镀膜技术 物理气相沉积法 真空蒸发 溅射镀膜 离子镀膜
年,卷(期) 2000,(6) 所属期刊栏目 综述与专论
研究方向 页码范围 1-4
页数 4页 分类号 TQ15
字数 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1672-7916.2000.06.001
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作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 王银川 北京大学化学与分子工程学院 3 152 2.0 3.0
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研究主题发展历程
节点文献
真空镀膜技术
物理气相沉积法
真空蒸发
溅射镀膜
离子镀膜
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
现代仪器与医疗
双月刊
2095-5200
10-1084/TH
大16开
1995-01-01
chi
出版文献量(篇)
3895
总下载数(次)
0
总被引数(次)
20339
论文1v1指导