低能电子诱导脱附的理论研究

• 作者: 张彤 毛福明
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 位势 解吸 电子诱导脱附
• 年，卷（期）: 2000,（1）
• 页码范围: 60-66
• 页数: 7页
• 分类号: TB7.51
• 字数: 5541字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2000.01.010

摘要

论述了低能电子诱导脱附的物理过程和理论机制,分析了脱附截面的相关因素并对电子诱导脱附中的物理现象作了解释.简述了低能电子诱导脱附的应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张彤	东南大学电子工程系	89	363	10.0	14.0
2	毛福明	东南大学电子工程系	12	38	3.0	5.0