十字片簧弹性支承测量机构的设计与实验

• 作者: 于水 李庆祥 王云庆 白立芬
• 来源期刊: 实验技术与管理
• 学科: 工学
• 关键词: 十字片簧弹性支承 测量机构 台阶测量仪
• 年，卷（期）: 2000,（1）
• 所属期刊栏目: 实验发展
• 页码范围: 19-22
• 页数: 4页
• 分类号: TH12
• 字数: 959字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-4956.2000.01.006

摘要

台阶测量仪是超大规模集成电路生产工艺中测量台阶高度的重要仪器,其中测量机构部分是仪器中的关键部件,它的性能优劣直接影响着整机的测量精度.本文阐述了十字片簧弹性支承的测量机构的设计与特性实验,实验证明,此测量机构有运动灵活、回转精度高、测量力小、调整方便、抗疲劳性好、使用中无磨损、不需润滑、工作稳定可靠等特点,该机构满足了台阶测量仪的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李庆祥	清华大学精密仪器与机械学系	84	2180	20.0	45.0
2	白立芬	清华大学精密仪器与机械学系	23	478	10.0	21.0
3	于水	清华大学精密仪器与机械学系	11	184	5.0	11.0
4	王云庆	清华大学精密仪器与机械学系	4	27	2.0	4.0