不锈钢基底上离子源辅助激光制备CeO2薄膜及其结构分析

• 作者: 徐启阳 王又青 陈清明 黄新堂
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 脉冲激光 CeO2薄膜 不锈钢基底 离子源辅助
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 499-503
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 2286字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-324X.2000.03.021

摘要

室温下在不锈钢基底上应用Ar+离子源辅助,准分子脉冲激光沉积了CeO2薄膜.研究结果表明:在合适的工艺条件下,直接在不锈钢基底上可以制备出c轴取向的CeO2薄膜,但这时的CeO2薄膜在其a-b平面内没有观察到织构的信息;进一步在相同的条件下,首先在不锈钢基底上制备一层YSZ(Yttria-Stabilized Zirconia),再在YSZ/不锈钢上制备CeO2薄膜,实验结果显示出这时的CeO2薄膜不但是c轴取向,同时在其a-b平面内织构.CeO2(202)射线扫描图给出其全宽半峰值为20.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄新堂	华中理工大学激光技术国家重点实验室	38	209	9.0	13.0
3	陈清明	华中理工大学激光技术国家重点实验室	20	56	4.0	6.0
4	王又青	华中理工大学激光技术国家重点实验室	7	25	3.0	5.0
7	徐启阳	华中理工大学激光技术国家重点实验室	4	6	2.0	2.0