低失能近轴背散射电子的探测及应用

• 作者: 张文翠 彭友贵 蒋昌忠
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 背散射电子 近轴深测 成分分析 扫描电镜
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 所属期刊栏目: 电子束技术
• 页码范围: 18-22,17
• 页数: 6页
• 分类号: TN307
• 字数: 3264字
• 语种: 中文

摘要

介绍了扫描电镜中的一种背散射电子采集和测量系统，该系统能探测那些较低能量损失且散射角接近180°的背散射电子。测量了在Au、Pt、Ag和C靶中的低失能近轴背散射电子的背散射率。结果显示该探测系统比常规电镜中的探测系统具有更高的成分衬度，因此在靶成分的分析中有广阔的应用前景。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋昌忠	武汉大学物理与电子信息科学学院	43	191	9.0	11.0
2	彭友贵	武汉大学物理与电子信息科学学院	7	138	5.0	7.0
3	张文翠		1	2	1.0	1.0