基于原子力显微镜扫描的金刚石刀具纳米刃口轮廓测量方法研究

• 作者: 孙涛 董申 谭久彬
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石刀具 刃口轮廓测量 原子力显微镜(AFM) 刃口参数
• 年，卷（期）: 2000,（1）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 54-57
• 页数: 4页
• 分类号: TH7
• 字数: 3349字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3087.2000.01.015

摘要

基于扫描探针理论,本文介绍了一种超精密加工用金刚石刀具刃口锋锐轮廓的测量方法,给出了测量图象并分析了测量结果,首次对金刚石刀具刃口轮廓参数进行了AFM扫描原理下的初步评定.这一方法可提高金刚石刀具刃口锋锐度的测量准确度,对进一步分析刃口参数如何影响超精密加工表面质量具有指导意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谭久彬		140	2284	28.0	42.0
2	董申		232	4378	35.0	50.0
3	孙涛		124	1024	17.0	23.0