AES测薄膜厚度的误差分析与修正

• 作者: 盛国裕
• 来源期刊: 现代仪器与医疗
• 关键词: 薄膜 厚度 误差
• 年，卷（期）: 2000,（5）
• 所属期刊栏目: 使用与维修
• 页码范围: 44-45,38
• 页数: 3页
• 分类号: TH11
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7916.2000.05.015

摘要

本文介绍了AES测薄膜厚度的原理和方法,分析了测试过程中的各种误差,并探讨了各种误差的修正方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	盛国裕	中国计量学院机电工程教研室	10	17	3.0	4.0