超精密机床的压电作动器隔振系统研究

• 作者: 李旦 盖玉先 董申
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 压电作动器 振动 主动控制 超精密机床
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 所属期刊栏目: 压电及其他功能器件
• 页码范围: 160-162
• 页数: 3页
• 分类号: TG502.14|TH703.4
• 字数: 1632字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2000.03.008

摘要

压电作动器是振动主动控制中最常用的一种执行机构.文章分析了各种压电作动器的特点及应用范围,并用压电陶瓷作动器对超精密机床实施振动主动控制.结果表明,该系统应用控制器克服了压电元件的迟滞特性、蠕变特性和非线性后,能有效的控制地基振动对超精密机床的影响,提高了超精密机床的加工精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董申	哈尔滨工业大学精密工程研究所	232	4378	35.0	50.0
2	李旦	哈尔滨工业大学精密工程研究所	63	1584	24.0	38.0
3	盖玉先	哈尔滨工业大学精密工程研究所	21	293	9.0	17.0