微机械材料杨氏模量的测量

• 作者: 张以恒 苏菲 赵颉 顾利忠
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械材料 杨氏模量 声激励 瞬态激励
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 所属期刊栏目: ·微纳技术·
• 页码范围: 242-245
• 页数: 4页
• 分类号: TB321
• 字数: 2036字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2000.03.010

摘要

利用蚀刻硅技术制造的微机械构件，由于特殊的制作工艺而需要对其材料的杨氏模量进行测量。这是随微机械技术的产生而提出的一个新课题。文章综述了已有的测量微机械材料杨氏模量的方法。在此基础上，提出了用声激励谐振法和瞬态激励法来测量微机械材料的杨氏模量，这两种方法具有测试装置简单、测量容易、精度高等特点。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	顾利忠	清华大学自动化系	14	94	7.0	9.0
2	苏菲	清华大学自动化系	5	52	4.0	5.0
3	赵颉	清华大学自动化系	5	35	3.0	5.0
4	张以恒	清华大学自动化系	5	74	5.0	5.0