由离子注入引起的CuxS薄膜的状态变化

• 作者: 姚保纶 屈晓声 李德杰
• 来源期刊: 太阳能学报
• 学科: 工学
• 关键词: CuxS薄膜 离子注入 相变 透射率
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 页码范围: 285-287
• 页数: 3页
• 分类号: TK51
• 字数: 1723字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-0096.2000.03.012

摘要

讨论了CuxS薄膜注入氮离子对薄膜特性的影响.铜硫化合物薄膜经两次蒸发制备在玻璃上.实验发现,氮离子束注入引起了CuxS薄膜中铜与硫成分的改变,明显观察到样品中的铜对硫的比值随注入离子束强度的增加而变大.透射光谱分析对比证实确有新的CuxS状态出现.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李德杰	清华大学电子工程系	34	152	8.0	10.0
2	屈晓声	清华大学电子工程系	6	14	2.0	3.0
3	姚保纶	清华大学电子工程系	7	18	3.0	4.0