微细加工用双足式大行程微动工作台的研究

• 作者: 周亮 姚英学 张宏志
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微动工作台:压电陶瓷位移器 微细加工
• 年，卷（期）: 2000,（4）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 68-72,76
• 页数: 6页
• 分类号: TH703.8
• 字数: 1527字
• 语种: 中文

摘要

大行程微动工作台是微细加工设备的重要组成部分,针对当前微动工作台行程小,或行程较大而其检测控制复杂等不足,提出了一种"双足式移动"的新原理,并研制了一台双足式大行程微动工作台.该工作台由两套进给和支承微位移器来实现进给和支承.在研究中,提出了一套检测控制系统,可对工作台的移动位移大小和方向进行实时控制,这种检测控制系统可以使工作台按照任意的路径进给.该工作台还具有很多优点:比如分辨率高、无导轨、无摩擦、运动平稳、承载能力高、控制简单等.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周亮	哈尔滨工业大学机械工程及自动化系	34	354	10.0	18.0
2	姚英学	哈尔滨工业大学机械工程及自动化系	136	2556	28.0	41.0
3	张宏志	哈尔滨工业大学机械工程及自动化系	26	283	10.0	16.0