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微波等离子体化学气相沉积法制备C3N4薄膜的研究
微波等离子体化学气相沉积法制备C3N4薄膜的研究
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摘要：
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微波等离子体化学气相沉积法制备C3N4薄膜的结构研究
C3N4
微波等离子体化学气相沉积法
薄膜沉积
多晶硅薄膜等离子体增强化学气相沉积低温制备工艺
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微波等离子体化学气相沉积β-C3N4超硬膜的研究
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真空电子技术
主办单位：
北京真空电子技术研究所
出版周期：
双月刊
ISSN：
1002-8935
CN：
11-2485/TN
开本：
大16开
出版地：
北京749信箱7分箱
邮发代号：
创刊时间：
1959
语种：
chi
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2372
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8712
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