电磁驱动MEMS可调式光衰减器的设计

• 作者: 周光亚 张明生 李文军 蔡炳初 赵小林
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 可调式光衰减器 电磁驱动 插入损耗 衰减量
• 年，卷（期）: 2000,（4）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 60-67
• 页数: 8页
• 分类号: TN202|TN715|TP271+.4
• 字数: 3197字
• 语种: 中文

摘要

设计了一种由电磁驱动的微机械可调式光衰减器.这种光衰减器是由电磁驱动插在两对准单模光纤间隙中的挡光片来实现光功率的衰减.并对该衰减器的插入损耗、光衰减量以及电磁驱动器的性能进行了分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蔡炳初	上海交通大学信息存储研究中心	49	769	15.0	26.0
2	赵小林	上海交通大学信息存储研究中心	56	549	13.0	20.0
3	周光亚	上海交通大学信息存储研究中心	5	54	4.0	5.0
4	李文军	上海交通大学信息存储研究中心	34	231	10.0	14.0
5	张明生	上海交通大学信息存储研究中心	4	36	3.0	4.0