MEMS固态引信核心子系统的设计

• 作者: 李文杰 金磊 高世桥
• 来源期刊: 探测与控制学报
• 关键词: 传感器 硅微结构 固态引信 动力分析
• 年，卷（期）: 2000,（1）
• 页码范围: 61-64
• 页数: 4页
• 分类号: TJ43
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-1194.2000.01.015

摘要

讨论了微机电固态引信核心子系统(即微传感器系统)的硅微结构设计和分析,并针对典型的弹性质量系统,建立了其过载变形的模型,给出了用于计算位移加速度关系系数的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高世桥	北京理工大学机电工程系	58	376	9.0	18.0
2	李文杰	北京理工大学机电工程系	5	40	3.0	5.0
3	金磊	北京理工大学机电工程系	21	66	5.0	7.0