MIM结构薄膜应变栅的工艺研究

• 作者: 于映 陈跃
• 来源期刊: 电子工艺技术
• 学科: 工学
• 关键词: MIM结构 薄膜应变栅 直接沉积法
• 年，卷（期）: 2000,（5）
• 所属期刊栏目: 新工艺新技术
• 页码范围: 222-224
• 页数: 3页
• 分类号: TB43
• 字数: 2262字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3474.2000.05.012

摘要

阐述了采用直接沉积法制作MIM结构薄膜应变栅的工艺方法,对制备过程中所遇到的难点进行了分析并提出相应的解决方法,对所制作的薄膜应变栅式称重传感器进行了性能测试.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于映	福州大学电子科学与应用物理系	36	343	8.0	17.0
2	陈跃	福州大学电子科学与应用物理系	6	65	3.0	6.0