超净介质中颗粒状杂质的光散射测试技术的理论研究

• 作者: 王乃宁 郑刚 黄廷磊
• 来源期刊: 桂林电子工业学院学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光散射 光通量 颗粒测量 颗粒粒径
• 年，卷（期）: 2000,（1）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 6-12
• 页数: 7页
• 分类号: TN247
• 字数: 463字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-808X.2000.01.002

摘要

对超净介质中的颗粒计数理论进行了详细的分析,建立了同轴采光和异轴采光结构的数学模型,得出光通量和粒径之间的对应关系,并通过数值计算,对可能影响计数效率的几个因素进行了分析讨论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑刚	上海理工大学光电学院	134	759	15.0	21.0
2	王乃宁	上海理工大学动力学院	22	205	9.0	13.0