砷注入碲镉汞的激光退火

• 作者: 姜润清 孙喻明 张燕 方家熊 李向阳
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光退火 迁移率谱
• 年，卷（期）: 2000,（4）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 26-29
• 页数: 4页
• 分类号: TN213
• 字数: 2698字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2000.04.007

摘要

利用脉冲YAG激光器(脉宽为10ns,波长为1.06μm)对砷注入长波碲镉汞样品进行激光退火实验,分析注入退火引起的样品电学性质的变化,认为激光退火能够消除辐射损伤,并激活注入杂质.同时对电导率-迁移率谱这一实验方法也做了较详细的说明.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张燕	山东大学红外遥感研究室	78	278	8.0	12.0
2	李向阳	传感器国家重点实验室中国科学院上海技术物理研究所	3	9	2.0	3.0
3	姜润清	山东大学红外遥感研究室	4	7	1.0	2.0
4	孙喻明	山东大学红外遥感研究室	2	7	1.0	2.0
5	方家熊	传感器国家重点实验室中国科学院上海技术物理研究所	3	9	2.0	3.0