大直径直拉硅单晶炉热场的改造及数值模拟

• 作者: 任丙彦 刘彩池 张志成 郝秋艳
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 直拉硅单晶 热场 加热器 热对流 氧含量 数值模拟
• 年，卷（期）: 2000,（4）
• 页码范围: 381-385
• 页数: 5页
• 分类号: O78
• 字数: 1989字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2000.04.017

摘要

为了降低大直径硅单晶生长过程中氧的引入,对常规的406mm(16英寸)热场进行了改造.设计了以矮加热器为核心的复合式加热器系统,使晶体生长过程中熔体热对流减小.通过对热场的数值模拟计算,分析了热场的温度分布,发现熔体的纵向温度梯度下降,熔体热对流减小,硅单晶中氧含量降低.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	任丙彦	河北工业大学半导体材料研究所	31	241	9.0	14.0
2	张志成	河北工业大学半导体材料研究所	4	27	1.0	4.0
3	刘彩池	河北工业大学半导体材料研究所	63	305	11.0	14.0
4	郝秋艳	河北工业大学半导体材料研究所	37	179	9.0	12.0