氦质谱检漏仪与氟油平台在元器件检漏中的应用

• 作者: 颜廷燕
• 来源期刊: 电子元器件应用
• 学科: 工学
• 关键词: 氦质谱检漏仪 氟油平台 电子元器件检漏
• 年，卷（期）: 2000,（8）
• 页码范围: 34-35
• 页数: 2页
• 分类号: TN606

摘要

本文简要介绍拟质谱检漏仪和氟油平台的工作原理及其在元器件检漏中的应用。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	颜廷燕	中国科学院北京科学仪器研制中心	2	0	0.0	0.0