EBAS-1型电子注分析仪数据采集及控制系统

• 作者: 张今朝 张福安
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 电子注 数据采集 控制
• 年，卷（期）: 2000,（2）
• 所属期刊栏目: 电子束技术
• 页码范围: 8-12
• 页数: 5页
• 分类号: TN305
• 字数: 2355字
• 语种: 中文

摘要

简要介绍了电子注分析仪数据采集及控制系统的重要性和基本结构,然后着重介绍了该系统的软、硬件设置及其工作原理.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张今朝	中国科学院电工研究所	8	16	2.0	3.0
2	张福安	中国科学院电工研究所	9	10	2.0	2.0