离子注入对CuxS薄膜的影响

• 作者: 屈晓声 李德杰
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: CuxS薄膜 离子注入 相变 透射率
• 年，卷（期）: 2000,（5）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 556-557
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.25
• 字数: 2274字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2000.05.041

摘要

讨论了CuxS薄膜经氮离子注入后对薄膜的特性影响,铜硫化合物薄膜是经两次蒸发制备在玻璃上.实验发现氮离子束注入引起了CuxS薄膜中的铜与硫成分的改变,明显现察到样品中的铜对硫的比值随注入离子束强度的增加而变大.经过透射光谱的分析对比证实了确有新的CuxS状态出现.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李德杰	清华大学电子工程系	34	152	8.0	10.0
2	屈晓声	清华大学电子工程系	6	14	2.0	3.0