LSI渗硼剂渗硼中硼的扩散激活能

• 作者: 谌岩 贲永志
• 来源期刊: 物理测试
• 学科: 工学
• 关键词: LSI渗硼剂 渗硼 激活能
• 年，卷（期）: 2000,（5）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 14-15
• 页数: 2页
• 分类号: TG1
• 字数: 800字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-0777.2000.05.005

摘要

通过对40钢经不同温度及时问渗硼后渗层层深的测定,根据公式p2=Kote-Q/PT计算出硼的扩散激活能,为渗硼层形成机制的研究提供数据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谌岩		36	171	7.0	11.0
2	贲永志		7	27	3.0	5.0