YMnO3薄膜的铁电性能及其应用

• 作者: 刘卫忠 卢德新 叶雪军 徐则川
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 稀土锰酸盐薄膜 非挥发性存储器 金属-铁电体-半导体场效应晶体管 制备方法 铁电薄膜性能
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 所属期刊栏目: 单晶、薄膜及其他功能材料
• 页码范围: 186-189
• 页数: 4页
• 分类号: TM22
• 字数: 2949字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2000.03.015

摘要

对金属-铁电体-半导体场效应晶体管器件而言,具有六方晶系结构的稀土锰酸盐(ReMnO3)是性能优良的薄膜材料,它们的介电常数低,仅仅只有单一的极化轴,没有挥发性的元素Pb、Bi等.本文作者对ReMnO3材料的结构特征、制备方法及其铁电性能等进行了介绍,并指出存在的困难及其发展方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘卫忠	华中理工大学电子科学与技术系	9	48	4.0	6.0
2	徐则川	华中理工大学电子科学与技术系	2	3	1.0	1.0
3	卢德新	华中理工大学电子科学与技术系	2	3	1.0	1.0
4	叶雪军	湖北商业高等专科学校电子系	1	2	1.0	1.0