单晶Si Nd∶YAG激光连续退火的数值计算

• 作者: Markevich M I 傅仁武 陈朝
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 单晶Si 激光退火 固相外延 准静态模型 隐格式差分方程
• 年，卷（期）: 2000,（4）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 320-323
• 页数: 4页
• 分类号: O472.3
• 字数: 2443字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-7032.2000.04.008

摘要

应用固相外延模型来模拟单晶Si的连续Nd∶YAG激光退火过程,在低功率密度连续激光退火下,用准静态模型模拟辐照区向非辐照区的径向传导散热.在数值计算中,应用部分线性法处理非线性非齐次热传导方程,得到相应的隐格式差分方程,再用追赶法求解隐格式差分方程,得出绝热边界条件下的温度的时间和空间分布,从而得出激光退火的再结晶厚度.当激光波长λ=1.06μm、功率密度i0=700W/cm2,预热温度T0=523K时,经过0.7秒,表面温度度升到1 290K左右,再结晶厚度约为0.5μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈朝	厦门大学物理系	63	420	11.0	18.0
2	傅仁武	厦门大学物理系	2	2	1.0	1.0