微加速度传感器硅微结构设计

• 作者: 李文杰 金磊 高世桥
• 来源期刊: 传感器技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 微加速度传感器 硅微结构 动力分析
• 年，卷（期）: 2000,（2）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 23-25
• 页数: 3页
• 分类号: TB122
• 字数: 1681字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2000.02.010

摘要

围绕加速度信息,探讨微机电加速度传感器的设计和分析,提出了微机电传感系统硅微结构设计的原则,并根据典型的弹性质量系统,建立了其过载变形的模型,给出了用于计算位移加速度关系系数的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高世桥	北京理工大学机电工程系	58	376	9.0	18.0
2	李文杰	北京理工大学机电工程系	5	40	3.0	5.0
3	金磊	北京理工大学机电工程系	21	66	5.0	7.0