电子束曝光机束闸电路

• 作者: 张明
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 电子束曝光机 束闸电路 开关电路
• 年，卷（期）: 2000,（4）
• 所属期刊栏目: 电子束技术
• 页码范围: 6-8,35
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 1643字
• 语种: 中文

摘要

介绍了一个输出电压为104V,开关时间为34ns的电子束曝光机束闸电路.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张明	山东工业大学自动化系	2	30	2.0	2.0