静电声和超声传感器的进展

• 作者: 葛立峰
• 来源期刊: 安徽大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 静电原理 静电传感器 传声器 超声传感器 微加工传感器 硅传感器 MEMS 建模
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 页码范围: 75-84
• 页数: 10页
• 分类号: O429|TB52
• 字数: 2390字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-2162.2000.03.012

摘要

对20世纪声学测量静电(或电容)传感器的实验和理论的进展作了简短综述。重点放在微加工传感器及其理论建模。本文还讨论了传感器的分类，当前发展趋势和应用前景，显示了微加工声和超声传感器正将声学测量推进到一个全新的发展阶段。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	葛立峰	安徽大学自动化系	26	226	7.0	14.0