二氧化锡薄膜的电阻气敏和光透射率气敏性能

• 作者: 姚熹 姜国宝 林殷茵 汤庭鳌 黄维宁
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 二氧化锡 气敏 透射率 溶胶-凝胶
• 年，卷（期）: 2000,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1067-1072
• 页数: 6页
• 分类号: O484
• 字数: 2760字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-324X.2000.06.019

摘要

以无机盐为原料，采用新颖的溶胶-凝胶工艺制备了具有优良电阻-气敏性能的纳米晶二氧化锡薄膜，其在最佳工作温度200℃对600ppm CO的灵敏度可达500，响应时间和恢复时间分别为13s和20s．进一步研究了薄膜的光透射率 -气敏性能，发现当通CO时，透射率下降，最佳工作温度与电阻 -气敏性能一致，当提高薄膜的退火温度时，电阻-气敏和光透射率-气敏的灵敏度均下降．分析了产生这些现象的原因．

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚熹	西安交通大学电子材料研究所	172	1611	18.0	30.0
2	汤庭鳌	上海复旦大学电子工程系微电子所	2	23	1.0	2.0
3	林殷茵	上海复旦大学电子工程系微电子所	1	22	1.0	1.0
4	黄维宁	上海复旦大学电子工程系微电子所	1	22	1.0	1.0
5	姜国宝	上海复旦大学电子工程系微电子所	1	22	1.0	1.0