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摘要:
分析温度气压对物镜光学材料、透镜厚度间隔,以及空气折射率的影响,并用空气折射率对物镜像质影响进行模拟计算.研究表明物镜焦面产生较大漂移,对倍率有一定影响,而对畸变影响较小,指出对物镜进行温度气压控制补偿是必要的.
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内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 温度气压对高分辨力光刻物镜像质影响研究
来源期刊 微细加工技术 学科 工学
关键词 温度 气压 空气折射率 光刻 物镜
年,卷(期) 2000,(1) 所属期刊栏目 光子束技术
研究方向 页码范围 31-34,30
页数 5页 分类号 TN305.7
字数 2197字 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 陈旭南 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室 39 212 9.0 13.0
2 李展 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室 21 187 8.0 13.0
3 余国彬 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室 22 129 7.0 10.0
4 罗先刚 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室 52 315 9.0 15.0
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研究主题发展历程
节点文献
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气压
空气折射率
光刻
物镜
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
微细加工技术
双月刊
1003-8213
43-1140/TN
大16开
湖南省长沙市
1983
chi
出版文献量(篇)
672
总下载数(次)
2
总被引数(次)
4940
论文1v1指导