微区薄层电阻四探针测试仪及其应用

• 作者: 孙以材 孟庆浩
• 来源期刊: 现代仪器与医疗
• 关键词: 微区薄层电阻 探针技术 改进范德堡法
• 年，卷（期）: 2000,（1）
• 所属期刊栏目: 新技术应用
• 页码范围: 37-42
• 页数: 6页
• 分类号: TM93
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7916.2000.01.010

摘要

用斜置的四探针方法,依靠显微镜观察,将针尖置于微区图形的四个角区,用改进的范德堡公式可以得到微区的薄层电阻.本文对测准条件作了分析.并用该仪器测定了硼扩散片的薄层电阻分布.在测试过程中应用微处理器,加快了计算速度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙以材	河北工业大学电气信息学院	117	1247	18.0	31.0
2	孟庆浩	河北工业大学电气信息学院	7	71	4.0	7.0