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用于FAIMS系统的微电流检测电路屏蔽
FAIMS
微电流检测
电阻反馈法
放大电路
LabVIEW
小型真空室真空测量与控制系统的设计与实现
真空测量与控制
小型真空室
变频控制
单步调试
驱动与检测双差动硅微陀螺结构设计和分析
微机械陀螺
双差动
结构解耦
刚度耦合
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 用于微陀螺性能检测的小型、无干扰真空得系统
来源期刊 真空电子技术 学科
关键词
年,卷(期) 2000,(6) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 42
页数 1页 分类号
字数 1913字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1002-8935.2000.06.012
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
真空电子技术
双月刊
1002-8935
11-2485/TN
大16开
北京749信箱7分箱
1959
chi
出版文献量(篇)
2372
总下载数(次)
7
总被引数(次)
8712
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