论文降重
免费查重
离子束刻蚀机工作台的改造
基本信息来源于合作网站，原文需代理用户跳转至来源网站获取
摘要：
推荐文章
专用点焊机工作台的设计与研制
点焊机
PLC
伺服电机
用于双离子束注入器的杂质消除系统
注入器
双离子束
杂质
一种数控滚齿机工作台动态特性建模方法及实验分析
数控滚齿机
动态特性
伺服模型
永磁交流伺服电机
脉冲离子束流聚焦装置的研制
脉冲离子束流
限束
透镜
聚焦
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献 (0)
共引文献 (0)
参考文献 (0)
节点文献
引证文献 (3)
同被引文献 (0)
二级引证文献 (0)
2000(0)
- 参考文献(0)
- 二级参考文献(0)
- 引证文献(0)
- 二级引证文献(0)
2012(2)
- 引证文献（2）
- 二级引证文献（0）
2017(1)
- 引证文献（1）
- 二级引证文献（0）
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
真空
主办单位：
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
出版周期：
双月刊
ISSN：
1002-0322
CN：
21-1174/TB
开本：
大16开
出版地：
辽宁省沈阳市万柳塘路2号
邮发代号：
8-30
创刊时间：
1964
语种：
chi
出版文献量（篇）
2692
总下载数（次）
3
总被引数（次）
12898
期刊文献
相关文献
推荐文献
- 期刊分类
- 期刊（年）
- 期刊（期）
- 期刊推荐
