优化CVI反应器气体流场的可视化研究

• 作者: 张立同 徐永东 成来飞 肖鹏
• 来源期刊: 流体力学实验与测量
• 学科: 工学
• 关键词: CVI反应器 优化 气体流动 可视化
• 年，卷（期）: 2000,（2）
• 所属期刊栏目: 测量与显示
• 页码范围: 88-91
• 页数: 4页
• 分类号: TN249|V254.2
• 字数: 2176字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-9897.2000.02.016

摘要

CVI(化学气相浸渗)反应器内气体的输运对基体的沉积速度与沉积质量有重要的影响.用一套结构简单、可操作性强的气体流动可视化设备,对底部进气的等温等压CVI反应器内气体流场进行了模拟研究,得到如下结论:在气体入口处采用涡流器与多孔整流器,能消除中心射流并减小上部回流区域,扩大反应器的有效使用空间;使衬底与气体主流方向成一定的夹角,能有效阻止气体边界层的分离.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	成来飞	西北工业大学凝固技术国家重点实验室	259	2656	22.0	40.0
2	张立同	西北工业大学凝固技术国家重点实验室	248	2867	24.0	42.0
3	徐永东	西北工业大学凝固技术国家重点实验室	131	1982	23.0	37.0
4	肖鹏	西北工业大学凝固技术国家重点实验室	19	110	4.0	10.0