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厚度对MEMS换能元薄膜电阻率的影响研究
MEMS换能元
金属薄膜
尺度效应
电阻率
生长温度和退火气氛对ZnO:Al薄膜结构与性能的影响
ZnO
Al薄膜
生长温度
退火气氛
光学性质
电学性质
AlNi纳米合金薄膜低温电阻率的特性研究
Al1-xNix合金薄膜
半导体电阻率
电子-声子/磁子散射
负电阻率温度系数
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 ZnO∶Al薄膜的制备和工艺参数对其电阻率的影响
来源期刊 真空 学科
关键词
年,卷(期) 2000,(6) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 24
页数 1页 分类号
字数 2649字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1002-0322.2000.06.007
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真空
双月刊
1002-0322
21-1174/TB
大16开
辽宁省沈阳市万柳塘路2号
8-30
1964
chi
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