力敏传感器芯片设计分析

• 来源期刊: 传感技术学报
• 关键词: 力敏电阻 应力
• 年，卷（期）: 2000,（1）
• 页码范围: 61-66
• 页数: 5页
• 字数: 2792字
• 语种: 中文

摘要

较详细地分析了影响半导体力敏传感器性能的因素,介绍了圆膜片、片方膜、短形膜片上芯片的最佳设计方法.对研制开发新型的力敏传感器有一定的指导意义。