一种新型的微机械电子隧穿加速度计

• 作者: 徐永青 李立杰 杨拥军 梁春广 赵彦军 魏同立
• 来源期刊: 东南大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 加速度计 电子隧穿 微机械
• 年，卷（期）: 2000,（6）
• 页码范围: 23-27
• 页数: 5页
• 分类号: TH824+.4
• 字数: 1919字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-0505.2000.06.006

摘要

介绍了一种新型的微机械电子隧穿加速度计．利用体硅微机械加工工艺和 硅/玻璃静电键合技术成功研制出了一种三明治结构的隧穿加速度计．为了有效减小 低频噪声，在反馈回路里加入了振荡器和解调器．测试结果表明，目前样品的分辨率 约为10-6g/√Hz，抗冲击能力达到50g．

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	魏同立	东南大学微电子中心	87	942	17.0	26.0
2	梁春广		9	68	3.0	8.0
3	徐永青		2	31	2.0	2.0
4	杨拥军	东南大学微电子中心	3	30	3.0	3.0
5	李立杰		2	50	2.0	2.0
6	赵彦军		2	43	2.0	2.0