半导体光电薄膜的分析和检测

• 作者: 罗江财
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体薄膜 分析和检测 仪器
• 年，卷（期）: 2000,（z1）
• 所属期刊栏目: 研究论文与技术报告
• 页码范围: 81-83
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.07
• 字数: 2169字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.2000.z1.022

摘要

半导体光电薄膜的制备，是半导体光电器件最重要和最基本的工艺过程。半导体光电薄膜的分析和检测是器件开发中必须首先要解决的重要问题之一。文章介绍了半导体光电薄膜的分析和检测以及分析技术和仪器设备的发展现状。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	罗江财		4	5	2.0	2.0