SiGe/Si异质结构的x射线双晶衍射

• 作者: 周静 徐晨 杜金玉 沈光地 王玉田 罗辑 董欣 邹德恕 陈建新 高国 魏欢
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: SiGe/Si x射线双晶衍射 光程差 弛豫
• 年，卷（期）: 2000,（1）
• 所属期刊栏目: 材料研究
• 页码范围: 36-38
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.054|TN304.07
• 字数: 1468字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2000.01.012

摘要

通过x射线双晶衍射图形讨论了SiGe/Si HBT的电学特性与晶格结构的关系.